用于微电子和半导体应用的洁净室设施由于其产品的敏感性而需要严格的环境控制。 这些洁净室还装有极其精密和昂贵的设备，例如光刻机、蚀刻机、清洗机、掺杂机和切割机。 因此，清洁规范中的任何缺陷都会影响整个生产过程。 微电子和半导体洁净室概念和设计中的其他常见问题是最大化空间，同时还允许未来重新配置。 由于所有这些原因，模块化洁净室系统通常是最佳解决方案。

    由于其产品的敏感性，微电子和半导体应用的洁净室设施需要严格的环境控制。 这些洁净室还装有极其精密和昂贵的设备，例如光刻机、蚀刻机、清洗机、掺杂机和切割机。 因此，清洁规范中的任何缺陷都会影响整个生产过程。 微电子和半导体洁净室概念和设计中的其他常见问题是最大化空间，同时还允许未来重新配置。 由于所有这些原因，模块化洁净室系统通常是最佳解决方案。

    半导体和微电子洁净室满足以下要求：气密性； 紫外线过滤； 无颗粒滞留； 无污染物扩散。

    ISO 8573-1 确立了三个粒径范围：0.1 到 0.5 微米（微米）、0.5 到 1.0 微米和 1.0 到 5.0 微米。 同样，没有大于 5 um 的颗粒符合 1-5 级纯度等级。 只有纯度等级 1 和 2 才需要所有三个尺寸范围。通常，压缩机或过滤器制造商建议使用过滤器去除颗粒和油脂，并且随着半导体水平的提高，测量小至 0.1 微米的颗粒，校准激光粉尘颗粒计数器 是必须的。 对于许多食品制造商来说，由于可用性和费用的原因，这可能被证明是不切实际的。 如果不经常采集小样本，激光尘埃粒子计数器可能会很昂贵，但当粒子污染成为问题时，它会非常有用。 激光粒子计数器可用于通过现场测试结果快速采样多个位置，使其成为故障排除的理想选择。    

0.1um激光尘埃粒子计数器特点：

    KM128这款0.1um粒子计数器体积小巧、使用方便、质量轻便、全不锈钢外壳的，采用28.3L流量可以方便、快速、有效地检测净化环境中的悬浮粒子，是目前药厂，电子厂快速检测洁净室洁净度的首选产品。

●粒径范围为0.1-2(5)um

●易操作，大尺寸的触摸屏，和简明的菜单引导，确保了一个简单和轻松自如的操作

●可存储50000个样本记录

●采样流量为28.3升/分钟

●可选择测量值的分布式输出和累计输出，选中的数据格式与通常使用电子表格程序兼容.

0.1um激光尘埃粒子计数器规格：

1．测试粒子粒径             0.1-2(5)um

2．粒子通道                   标准设定或16个自由选择粒径通道

3. 最大浓度                    150000/ 1CFM

4. 光源                          激光二极管

5．光学系统                 90°分散蓄光光学

6．流量                        标准1CFM；28.3L/min

7．流量发生器              真空泵

8．流量控制                电子监控

9．校准                       乳胶气溶胶依照国家标准和/或ASTM f - 328 ASTM f -649   

10. 标准                      ISO 14644-1, VDI 2083

11．取样时间              1秒到99小时、59分钟、59秒

12．数据存储               50000个样本

13．显示和操作           屏幕大小8.4 英寸液晶TFT 显示器

14．数据内容记录        日期，时间，ID号，字母数字键，测量和清零时间，累计粒子计数的16个粒径通道

15．打印                     热敏57mm

16．外壳                     不锈钢

17．尺寸CM（D×W×H）       345*265*145mm

18．重量（KG）                      6KG

19．供电电源                           230/ 115 VAC, 50/ 60 Hz, 最大400 W  

20．声音报警                          每个粒子通过声音来探测到，声强超过报警可调节

21．操作条件                          5-35℃， 10-80%RH，非冷凝